光掩膜基本品質(zhì)項目

1.  外觀品質(zhì)

（缺陷、異物、光學(xué)濃度不足、透射率不足、劃傷、頂傷等）

2.  圖形尺寸精度（CD精度）

（也稱為短尺寸精度，包括絕對精度、CD均勻性、CD線形等）

3.  圖形位置精度（Registration精度）

  ◆   圖形總長精度（TP精度，也稱為長尺寸精度）

  ◆   圖形套合精度（Overlay精度）

  ◆   圖形居中精度（Centrality精度）

常見缺陷有以下幾種：

以下是光掩膜的基本制作流程：